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簡要描述:化學(xué)過濾器 用于:裂造裝置內(nèi)或設(shè)備配管內(nèi)的清淨(jìng)化;去除給排氣系統(tǒng)使用的壓縮空氣內(nèi)的微量氣體;去除裂品捆包時(shí)的麈埃、N2 Purge類氣體的代替品。
產(chǎn)品分類
詳細(xì)介紹
化學(xué)過濾器
<對象物質(zhì)>
●鹼性物質(zhì)(氨、胺類等)。
●酸性物質(zhì)(氯化氫、硫化氫、二氧化硫等)。
●有機(jī)物質(zhì)(高沸點(diǎn)有機(jī)物、矽氧烷等)。
<用途>
●裂造裝置內(nèi)或設(shè)備配管內(nèi)的清淨(jìng)化。
●去除給排氣系統(tǒng)使用的壓縮空氣內(nèi)的微量氣體。
●去除裂品捆包時(shí)的麈埃、N2 Purge類氣體的代替品。
<使用例>
●半導(dǎo)體、液晶曝光裝置、計(jì)測儀器遇邊、檢查工程。
●黏結(jié)機(jī)器、雷射加工機(jī)等。
●太陽電池玻璃基板加工.食品加工、再生醫(yī)療、分析機(jī)器。
化學(xué)過濾器
ENIL .SORB高壓配管實(shí)裝試驗(yàn)數(shù)據(jù)初期除去效率.
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